格创东智AMHS创新应用，半导体工厂智能化升级“必选项”_格创东智(上海)工业智能科技有限公司

随着半导体产线生产工艺流程越来越复杂，产线设备间的传统物料搬运方式，已经成为制约生产效率和生产质量的瓶颈。为此，AMHS自动物料搬运系统应运而生，在半导体晶圆制造环节的应用开始逐渐普及。

AMHS系统的特点与应用价值主要体现在:高可靠性、高自动化与信息化、高效率、高度灵活性与可扩展性。格创东智认为，随着半导体技术的持续演进，晶圆的尺寸不断增大，使得半导体工厂对于自动化和信息化技术要求越来越高。因此从中长期来看，新建的半导体工厂会将AMHS作为“必选项”，对AMHS的需求主要体现在高度自动化、智能化、信息化，具备高可靠性和高安全性，同时具备一定的灵活性和可扩展性，以减少对人的依赖，提高整个生产机台的使用率和库存周转率。

以OHT系统为核心的洁净室AMHS整体解决方案，其最 大优势在于效率非常高，并且主要布局都在空中，不会占用地面。因为无尘车间可谓“寸土寸金”，OHT系统的应用可以释放更多的空间布局，用于增加机台设备扩充产能。但在某些工艺段，比如需要干湿工艺，或者兼具高柔性、高精度的场景应用需求等，未必适合使用天车，需要考虑AGV等设备的组合应用。

同时，值得关注的还有智能调度系统，这也是目前国内AMHS厂商着力开拓的领域。对于AMHS而言，如何实现调度系统和MCS（物料控制系统）快速响应生产的波峰和波谷，契合生产工艺的调整，是AMHS厂商未来需要着力突破的重点。

另外，还可以结合数据化和信息化做进一步蔓延。目前越来越多的业主方十分重视对生产数据的挖掘和分析，目的是了解生产过程的每一个环节，发现潜在问题并提出改进措施。这项工作对于AMHS而言同样会带来很大价值。比如，可以通过分析物料搬运的节拍、周转情况和机台使用率等，优化工艺布局、设备配置及调度策略。

格创东智AMHS应用创新

稳定性和高效性是AMHS系统性能的重要指标。针对这两项指标，格创东智将自身在预防性维护和能源消耗管理方面的既有优势引入AMHS解决方案中。

1、设备故障侦测与分类系统（FDC）

实时收集设备生产过程中的状态数据以及工艺参数，通过监控模型实现对生产过程的失效模式的侦测和智能分析。该应用可以对AMHS进行预防和预测性维护，利用物联网技术和AMHS收集物料转移信息做出判定。通过AI建设模型，帮助使用方运维团队减少停线，增强物流线体和自动化产线的鲁棒性，帮助半导体工厂提高生产设备的效率和可靠性，实现极 致良率、极 致效率、极 致成本的发展目标。

2、智慧能源管理系统（EMS）

半导体工厂是高能耗行业之一，能耗主要来自制造设备和通风空调系统。我们基于对历史数据的分析，发现其中存在一定的冗余空间。比如半导体工厂的洁净车间需要保持一定湿度和温度，但通风空调设备的开启和停止控制其实有很大的空间值得挖掘。AMHS中的设备应用也是如此，我们可以将整个物料信息化和所有机台设备信息化系统打通，结合AI算法为客户提供何时开/关的最 优能源管理，帮助其减少能源消耗和碳排放，进而实现节能减排降耗增效的生产发展效果。